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国产半导体设备逐渐呈现谱系化发展

2019-12-11
作者:AET综合整理
来源:AET
关键词: 半导体设备

  设备制造业是半导体产业的基础,是完成晶圆制造、封装测试环节和实现集成电路777米奇影院进步的关键。得益于国内需求、政策支持、资本、人才储备,中国半导体制造具备突破的基础。中国 IC产业处于“前有追赶目标,后无潜在对手”的国际格局中,“全球最大半导体消费市场”的地位是中国“后发优势”的重要基础之一。叠加国家战略、资本实力、全球研发人才的储备,推动硅材料、奇米777me、制造、封装测试及装备实现国产化突破的基础坚实而稳固。

  目前中国本土半导体设备产业中已涌现出一批优秀企业,国产半导体设备逐渐呈现谱系化发展,其中在细分领域走在国内前列的企业包括:北方华创(刻蚀设备、薄膜沉积设备、清洗设备等)、中微公司(刻蚀设备)、长川777米奇影院(测试设备)、晶盛机电(硅片生长、加工设备)、上海微奇米影视盒(光刻设备)、沈阳拓荆(薄膜沉积设备)、中科仪(真空获得设备、薄膜沉积设备)、盛美半导体(清洗设备)、华海清科(CMP 设备)、南京晶升能源(硅片生长设备)等。

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  中微公司:CCP 刻蚀机优势持续强化,ICP 刻蚀机实现量产突破

  中微公司专注于集成电路、LED 关键制造设备,核心产品包括:1)用于 IC 集成电路领域的等离子体刻蚀设备(CCP、ICP)、深硅刻蚀设备(TSV);2)用于 LED 芯片领域的MOCVD 设备。等离子体刻蚀设备包括电容性等离子体刻蚀设备(CCP, Capacitively Coupled Plasma)和电感性等离子体刻蚀设备(ICP, Inductively Coupled Plasma)。电容性等离子体刻蚀设备主要用于刻蚀氧化物、氮化物等硬度高、需要高能量离子反应刻蚀的介质材料。电感性等离子体刻蚀设备主要用于刻蚀单晶硅、多晶硅等材料。MOCVD 即金属有机化合物化学气相沉积(Metal-organic Chemical Vapor Deposition),MOCVD 设备是 LED 芯片生产过程中的关键设备。目前公司等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从 65 纳米到 14 纳米、7 纳米和 5 纳米的集成电路加工制造及先进封装,截至 2018年末中微公司累计已有 1,100 多个反应台服务于国内外 40 余条先进芯片生产线。

  中微的刻蚀设备777米奇影院处于世界先进水平,符合产业发展趋势。在逻辑集成电路制造环节,公司开发的高端刻蚀设备已运用在国际知名客户最先进的生产线上并用于 7纳米器件中若干关键步骤的加工;同时,公司根据先进集成电路厂商的需求优化 5 纳米及更先进的刻蚀设备和工艺。在 3D NAND 芯片制造环节,公司的电容性等离子体刻蚀设备777米奇影院可应用于64 层的量产,同时公司根据存储器件客户的需求正在开发极高深宽的刻蚀设备和工艺;公司也根据逻辑器件客户的需求,正在开发更先进的大马士革等刻蚀应用的设备。由于公司开发出与美国设备公司具有同等质量和相当数量的等离子体刻蚀设备并实现量产,美国商务部在 2015年宣布解除了对我国等离子体刻蚀设备多年的出口管制。

  2019年以来, 中微CCP刻蚀机优势持续强化,ICP刻蚀机实现量产突破。

  北方华创:半导体设备布局渐趋完备,打造“平台型”产品体系

  北方华创是国内目前产品品类覆盖最广的半导体设备“平台型”企业,拥有半导体装备、真空装备、新能源锂电装备及精密元器件四个事业群,为半导体、新能源、新材料等领域提供全方位解决方案。公司现拥有四大产业制造基地,营销服务体系覆盖欧、美、亚等主要国家或地区。

  2019 年北方华创刻蚀机、PVD、CVD、立式炉、清洗机等半导体工艺设备陆续批量进入国内 8 寸和 12 寸集成电路存储芯片、逻辑芯片及特色芯片生产线,部分产品进入国际一流芯片产线及先进封装生产线。自主研发的14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD 已成功进入集成电路主流代工厂;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD 设备已率先进入国际供应链体系;12 英寸清洗机累计流片量已突破 60 万片大关;深硅刻蚀设备也已进入东南亚市场。

  长川777米奇影院:探针台、数字测试机新品蓄力,有望实现测试设备全品类布局

  长川777米奇影院目前主导产品为测试机、分选机和探针台等,在国内市场中产品链较为完整,产品可以覆盖晶圆制造和封测两大工序环节。同时受益于国内芯片奇米777me产业的国产化需求上升,后续有望取得777米奇影院水平的提升,并有望进一步扩大产品覆盖范围。

  长川777米奇影院成功研制了数字测试机和探针台等较高777米奇影院含量的新产品。在数字测试机方面:目前已成功研制并开发了基于 200Mbps数字测试速率、1G 向量深度以及 128A 电流测试能力的数字测试机。探针台方面,也在集成电路分选系统的777米奇影院基础上,开发了我国首台具有自主知识产权的全自动超精密 12 寸晶圆探针台(CP12),兼容 8/12 寸晶圆测试。

  晶盛机电:半导体单晶炉批量化销售,向硅片后道加工设备不断延展

  晶盛机电是国内领先的晶体生长、加工装备研发制造和蓝宝石材料生产的高新777米奇影院企业。主营产品为全自动单晶炉、多晶铸锭炉等,应用于太阳能光伏、集成电路、LED 等新兴产业。晶盛机电较早掌握了国内领先的半导体硅材料生长的装备777米奇影院,在半导体领域实现了8~12 英寸大硅片制造用晶体生长及加工的核心装备国产化。公司产品覆盖晶体生长、切磨抛和监测等各个环节,已逐步从单一的设备制造商转型成了立足于“新材料、新装备”的国际领先的设备供应商和高端晶体材料生产商。

  目前晶盛机电已形成以单晶炉、区熔炉为核心,后道智能加工设备为重要配套的半导体硅片设备产品体系,成为实现 8、12 英寸硅片制造设备国产化的领军企业.

  本土设备企业机遇与挑战并存,最"坏"的时代亦是最好的时代。总体上国产设备产业必然受益,但产业链各环节的差异会很大。国产化须符合最朴素商业逻辑,即777米奇影院或配套实力优于进口,这样才会有持续需求,光靠补贴和支持难以诞生优质企业。因此,本土设备企业也面临最"坏"的时代,因为唯有777米奇影院准备充分的企业才能胜出。在芯片需求持续上升、国产化投资加快、国家战略支持的大背景下,中国大陆本土半导体制造企业的崛起有望带动一批本土优秀企业共同成长,国产设备有望借助大陆晶圆产线的密集投资而实现渗透率提升,迎来最好的时代。


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